Antireflexive Beschichtung optischer Glassubstrate für Inspektionssysteme

Antireflexive Beschichtung optischer Glassubstrate für Inspektionssysteme

Material:

• Basissubstrat: Hochpräzisions-Borosilikatglas (z. B. Borofloat 33) oder geschmolzenes Kieselsäure, ausgewählt für außergewöhnliche Flachheit, thermische Stabilität und chemische Beständigkeit.

• Beschichtungstechnik: Mehrschichtdielektrische Beschichtungen (z. B. MgF2, SiO2, Ta2O5) durch Präzisionsmagnetron-Sputtering oder Dampfdeposition.

• Konstruktionsarten: Anpassbar als Breitband-AR (sichtbares NIR-Spektrum) oder V-Beschichtung (Optimierung für eine Wellenlänge).

Schlüsselmerkmale:

1. Ultra-niedrige Reflexionsfähigkeit: Erreicht <0,5% Oberflächenreflexionsfähigkeit (gegenüber 4-8% für unbeschichtetes Glas), wodurch der Lichtdurchsatz maximiert wird.

2. Hohe Übertragungseffizienz: Lieferung von >99,5% Lichtübertragung in Zielwellenlängen und Minimierung des Signalverlustes.

3. Winkelstabilität: Beibehält die Leistung bei Einschlagwinkeln von 0-45°, die für die schräge Bildgebung kritisch sind.

4. Umweltverträglichkeit: Widerstandsfähig gegen Delamination, Feuchtigkeit und UV-Abbau bei Dauerbetrieb.

5. Oberflächenqualität: Sub-Ångstrom-Rohheit (< 5Å Ra) verhindert Lichtstreuung.

6. Thermische und chemische Widerstandsfähigkeit: Widerstandsfähig gegen Reinigungslösungsmittel und thermische Zyklen (-60 °C bis +300 °C).

Hauptfunktion:

• Um abweichende Reflexionen zu beseitigen und den Kontrast in hochpräzisen optischen Inspektionssystemen zu maximieren.

• Minimiert Geisterbilder und Flammen, die durch Oberflächenreflexionen verursacht werden.

• Verbessert das Signal-Rausch-Verhältnis für eine genaue Fehlererkennung.

• Bewahrt die Lichtintensität über komplexe optische Pfade.

Hauptanwendungen in Kontrollsystemen:

1. Halbleitermetrologie:

   • Waferfehler-Scanner

   • EUV-Lithographie-Überprüfungsoptik

   • Masken-Ausrichtungssysteme

2. Automatische optische Inspektion (AOI):

   • Prüfung der PCB-Montage

   • Fehlererkennung der Anzeigetafel (OLED/LCD)

3. Biomedizinische Bildgebung:

   • Mikroskopziele für die Pathologie

   • Durchflusszytometrie-Linsen

4. Industrielle Sehsysteme:

   • Sensoren für die Laser-Triangulierung

   • Maschinelle Sichtlinsen für Montagelinien

5. Luft- und Raumfahrt-Forschung und Prüfung:

   • Ultraschallsondefenster

   • Endoskopoptik zur Inspektion von Turbinen

6. Photonikprüfung:

   • mit einer Breite von mehr als 20 mm

   • Spektrometerfenster

Im Wesentlichen:mit einer Breite von mehr als 20 mm,sind präzise konstruierte Bauteile, die Reflexionsgenauigkeitsprobleme in kritischen Inspektionssystemen lösen.Durch Anwendung fortschrittlicher mehrschichtiger dielektrischer Beschichtungen auf ultraflache Borosilikat- oder geschmolzenes Kieselsäure-Substrate, erreichen sie eine nahezu unsichtbare Oberflächenleistung (< 0,5% Reflexionsfähigkeit), wodurch Fehler auf Mikron-/Submikron-Skalen erkannt werden können.Diese Substrate verbessern direkt die Zuverlässigkeit der Halbleitermesstechnik, AOI-Ausrüstung und biomedizinische Bildgebungswerkzeuge, bei denen jedes Photon zählt.